Xeradex系列采用了最新脉冲启动方式，可获得传统准分子紫外灯近４倍的VUV(短波长真空紫外线)辐射率。
产品特征
- 发光原理及产品结构不同于传统气体放电灯(汞灯或氙灯等)；
- 主要产生峰值波长172nm的真空紫外线(VUV)。
主要用途
晶片清洗、聚合物去除、臭氧提炼、超级纯净水的精制加工等。
■ 光谱分布图 |
■ UV / 臭氧清洗流程示意图 |
输入能量的近40%可有效转换为真空紫外线。 |
通过XERADEX灯在FPD(平板显示器)生产过程中UV/臭氧清洗的应用，不仅显著改善玻璃基板的湿润性，且其作业效率是低压汞灯的近20倍。 |
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■ 产品结构图 |
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应用领域广泛： ·清洗LCD/OLED基板； ·去除有机残留物或保护膜； ·清洗光掩模； ·蚀刻作业； ·光诱导CVD和Metalization(金属化) 臭氧的提炼 ·高效率臭氧提炼：82g/kwh ·无需冷却处理； ·臭氧自制 其他应用领域 ·荧光体的性能评价； ·光化学实验； ·水净化处理和纯净水的精制加工。 |
■应用系统事例（XIS系列） |
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产品规格
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| 型 号 | XERADEX20/120 | XERDEX50/375 | XERADEX100/620 |
| 消耗功率（W） | 20 | 50 | 100 |
| VUV辐射量 （W） |
8 | 20 | 40 |
| 辐射强度 （ｍW/ｃ㎡） |
>45 | >40 | >45 |
| 平均使用寿命 （h） |
2500 | ||
| fig No. | 1 or 2 | 3 | 4 |
| 电源型号 | DBD-20-110/240 | DBD-100-110/240 （２灯） |
DBD-100-110/240 |
| 供给电压 | 110ｖ、120ｖ230ｖ、240ｖ任选其一 | ||
| 频 率（Hz） | 50 / 60 | ||
| 系统消耗功率（W） | 28 | 150（2灯） | 150 |
| 外形尺寸（LHW） （ｍｍ） |
223 × 55 × 112 | 282 × 80 × 175 | 282 × 80 × 175 |
| 接线长度 （ｍｍ） |
600 | 600（Y字形） | 600 |
尺寸单位 mm
